表面檢查燈利用了介于500nm波長以上眼睛感覺Z舒服的波段，來做透明玻璃或是鏡面不銹綱工作對象particle及刮傷判別檢查。3300應用場合在晶圓、光盤片、曝光玻璃、玻璃光罩、底片、LCD ITO等表面之顆粒Particle異物及刮痕檢查。需要指出的是，該儀器只是對本來存在顆粒異物等的“放大"作用，為主觀判斷的表面檢查燈。

　　表面檢查燈主要用于鏡片、液晶玻璃、手機玻璃、模具、汽車、手機保護膜、柔性基板、網版絲印等行業，其利用適合的光纖燈源，在工件表面折射出光路，使得操作員肉眼可識別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點，取代傳統的照明設備和光學系統機臺，直接通過照明光線和肉眼，觀測出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵，較大的節省了一般工廠的采購成本。同時光表面檢查燈可選配電池包、燈源遮光罩、活動手臂、支撐架、調光裝置等附件，以配合人員的固定場所或者流動場所的使用。

　　表面檢查燈光源的選擇：

　　白光：刮傷以及對不同層次的鍍膜均勻或微污染有很好的效果。

　　綠光：微刮傷、粉塵異物、Mura，檢查燈，70%以上的表面不良都可以被檢出。尤其是表面的微刮傷。

　　黃光：微刻模具、半導體晶圓、藍寶石。模擬全波段的鹵素光源，對鍍膜檢查效果不錯。